Hvað er pússunarplata úr hágæða áloxíðkeramik?

Með hraðri þróun hálfleiðaraiðnaðarins hefur umfang iðnaðarins aukist hratt og framleiðslutæki fyrir hálfleiðara hafa haldið áfram að þróast í nákvæmni og flækjustig. Vegna þess að keramik hefur kosti eins og mikla hörku, mikla teygjanleika, mikla slitþol, mikla einangrun, tæringarþol, litla útþenslu og svo framvegis, er hægt að nota það sem hluta af sílikonpússunarvélum, epitaxial/oxunar/dreifingarhitameðferðarbúnaði, litografíuvélum, útfellingarbúnaði, hálfleiðaraetsunarbúnaði, jónígræðsluvélum og öðrum búnaði, þannig að rannsóknir, þróun og framleiðsla á nákvæmum keramikhlutum hafa bein áhrif á þróun hálfleiðaraiðnaðarins. Tæknilegar kröfur um framleiðslu þeirra eru sífellt að hækka.

Háhreinleiki áloxíðs, 99,7%-99,9% áloxíð.
Mikill vélrænn styrkur, mikil slitþol, mikil rafeinangrun, mikil efnafræðileg stöðugleiki, góð hitaþol og tæringarþol. Eins og er er notkun keramik slípidisks til að slípa hálfleiðara kísilplötur besta og nýjustu slípunaraðferðin. Tvíhliða slípunarferlið er notað til að slípa skorna kísilplötu og gæði slípidisksins eru bætt með því að bæta slípunarferlið (diskefni, slípvökvi, slípunarþrýsting og slípunarhraði o.s.frv.). Sérstaklega er notkun keramikplata í stað steypujárnsplata til að forðast slípun á aðalfleti skífunnar af völdum öra eða mengunar, draga úr innkomu málmjóna, draga úr síðari vinnslu kísils, stytta síðari vinnslutíma (tæringar), bæta framleiðsluhagkvæmni og draga úr tapi á kísilvinnslu, sem bætir verulega nýtingu kísils.

Pólunarplata með háu áloxíðefnier notað í hálfleiðurum, jarðolíu, efnaiðnaði, ljósavirkjum, fljótandi kristöllum og öðrum iðnaði, svo sem vélrænum hlutum, rafeindabúnaði, örbylgjuofnsdiskum, einangrunarefnum og öðrum hlutum, hálfleiðurum, lofttæmisbúnaði, framleiðslubúnaði fyrir fljótandi kristöll og öðrum hlutum. Stór og hrein áloxíðkeramik hefur mikilvægt notkunargildi í safíriðnaði og hálfleiðaraflísariðnaði. Það er lykilstuðningur og rekstrarvara fyrir efnafræðilega vélræna fægingu (CMP) á safír- og hálfleiðara kísillplötum. Stór og hrein áloxíðkeramik getur einnig verið notað sem áloxíð undirlag fyrir LCD skjái.