HreinleikiPólunarplötur úr áli úr keramikhefur mikil áhrif á ferlið, einkum á eftirfarandi sviðum:
1. Pólunaráhrif:
- Slípaðir diskar með mikilli hreinleika álúxíns veita jafnara slípað yfirborð með færri yfirborðsgöllum og óhreinindum.
- Notkun á hreinum áloxíð-pússunardiskum til að pússa hálfleiðaraþynnur getur dregið úr örum eða mengun á aðalfleti þynnunnar, dregið úr tilkomu málmjóna, bætt nýtingu kísillþynnunnar og bætt gæði pússunar.
2. Vörugæði:
- Mikil hreinleiki slípaðra plötuskífa úr áloxíði úr keramik þýðir að óhreinindainnihald þeirra er lágt, sem getur dregið úr mengun á yfirborði skífunnar af völdum óhreininda við slípunarferlið.
- Hrein pússunardiskar með mikilli hreinleika hjálpa til við að viðhalda hreinleika vörunnar, tryggja stöðuga afköst hálfleiðara og uppfylla strangar kröfur um ferli.
3. Stöðugleiki ferlisins:
- Varmaþenslustuðullinn á fægidiskum úr hágæða áloxíði er svipaður og á kísill, sem hjálpar til við að draga úr hitaálagi af völdum hitabreytinga og bæta stöðugleika ferlisins.
- Stöðugt ferli hjálpar til við að draga úr göllum í framleiðsluferlinu og bæta framleiðsluhagkvæmni.
4. Efnafræðilegur stöðugleiki:
- Háhreint áloxíð hefur framúrskarandi efnafræðilegan stöðugleika og getur viðhaldið eiginleikum sínum og uppbyggingu í fjölbreyttu efnaumhverfi.
- Þetta gerir það að verkum að pússunardiskar úr hágæða áloxíði eru minna viðkvæmir fyrir tæringu eða sliti við pússunarferlið og viðhalda lengri endingartíma.
5. Efnahagslegur ávinningur:
- Þó að upphafskostnaður við slípskífu úr hágæða áloxíði geti verið hár, þá draga framúrskarandi eiginleikar hennar og langur endingartími úr heildarframleiðslukostnaði.
- Að auki geta hreinar fægiefnisdiskar bætt gæði vöru og stöðugleika ferlisins, dregið úr hlutfalli gallaðra vara og aukið enn frekar efnahagslegan ávinning.
6. Áhrif tæknilegra vísbendinga:
- Samkvæmt tilvísuðu greininni hafa pússunardiskar úr mjög hreinu áloxíði (99,7%-99,9%) framúrskarandi eðlis- og efnafræðilega eiginleika, svo sem mikinn vélrænan styrk, mikið slitþol, mikla rafmagnseinangrun, mikla efnafræðilega stöðugleika, góða hita- og tæringarþol.
- Þessir tæknilegu vísar hafa bein áhrif á áhrif fægingarferlisins og gæði vörunnar.
Hreinleiki slípunardisks úr áloxíðkeramik hefur mikilvæg áhrif á ferlið. Hreinleiki slípunardisks getur bætt slípunaráhrif, gæði vöru og stöðugleika ferlisins, en um leið dregið úr heildarframleiðslukostnaði. Þess vegna er val á hreinleika áloxíðs slípunardiskum mikilvægt í framleiðsluferli hálfleiðara til að tryggja gæði vöru og bæta framleiðsluhagkvæmni.
Birtingartími: 14. júlí 2024
