Chemshunpússunarplata fyrir áloxíðskífurSnúningsborðið er úr mjög hreinu áloxíði (99,7-99,9%). Keramik úr mjög hreinu áloxíði er einstakt í notkun og hefur framúrskarandi slitþol fyrir slípun á skífum og viðheldur góðri yfirborðslögun í langan tíma. Það er mótað með PIBM. Það er hluti af hálfleiðaraiðnaðinum vegna einstakrar hitastöðugleika og víddarstöðugleika og þols gegn erfiðum aðstæðum í örflöguvinnslubúnaði.
Efnafræðileg-vélræn sléttun (e. Chemical-Mechanical Planarization, CMP), einnig þekkt sem efnafræðileg-vélræn fæging, er tækni í framleiðsluferli hálfleiðara. Hún notar efnafræðilega tæringu og vélræna krafta til að fletja kísilplötur eða önnur undirlagsefni við vinnslu.
CMP búnaður skiptist aðallega í tvo hluta: fægingarhluta og hreinsunarhluta. Fægingarhlutinn samanstendur af fjórum hlutum, þ.e. þremur fægingarplötum og hleðslu- og losunareiningu fyrir skífur. Hreinsunarhlutinn sér um hreinsun og þurrkun skífunnar til að ná fram „þurrkun“ skífunnar. Í öllum fægingarbúnaðinum gegnir áloxíðkeramik mikilvægu hlutverki.
Áloxíðkeramik er venjulega notað til að búa til pússunardiska fyrir oblátur, sem krefjast mikils hreinleika, mikillar efnafræðilegrar endingar og góðrar stjórnunar á lögun og grófleika yfirborðs.
Chemshun 99,7% Al2O3 keramik slípidiskur er úr háþróuðu keramikefni, sem hentar vel til fínmalunar á ýmsum efnum, sérstaklega til að mala brothætt efni eins og skífur, keramik og gler. Keramik slípidiskurinn okkar er hægt að fá í mismunandi stærðum eftir mismunandi slípun og fægingu.
Birtingartími: 30. maí 2025